Età d'alta puresa
L’età d’alta puresa s’ha convertit en indispensable en la fabricació de semiconductors, on fins i tot les impureses de parts per mil milions poden alterar els processos de fabricació . definits com a etan amb puresa més gran o igual a 99 {{4 Hidrocarbons . El mercat global de l'etan d'alta puresa creix al 9% anual, impulsat per la demanda de xips i pantalles avançades.
En la fabricació de semiconductors, l’etan d’alta puresa serveix múltiples funcions crítiques:
Graix de plasma de capes de nitrur de silici
Deposició de vapor químic de pel·lícules dopades amb carboni
Processos de neteja de cambra en sistemes de litografia de la UEV
Les tècniques de purificació modernes per a l’età d’alta puresa ara aconsegueixen nivells de contaminació notables:
<0.1 ppm total hydrocarbons
<0.5 ppm moisture
<0.01 ppb metallic impurities
L’emmagatzematge i la manipulació d’età d’alta puresa requereixen cilindres especialitzats amb tractaments superficials interns per evitar l’adsorció de contaminants . Els sistemes de distribució de gas utilitzen tubs d’acer inoxidable electropolis amb accessoris de buit ultra-alt per mantenir la puresa des de la font fins a l’eina {{2} Les impureses poden reduir l'eficiència de conversió fins a un 2%.
Les innovacions recents inclouen el control de l’espectrometria de masses en temps real de fluxos d’età d’alta puresa, que permet la detecció immediata de les excursions de puresa . com a les geometries del xip es redueixen per sota dels nodes 2NM, les especificacions per a l’etan d’alta puresa són cada cop més estrictes, impulsant la millora contínua en les tecnologies de producció i anàlisi .
Etiquetes populars: ETAN ALTA PURITAT, Xina Fabricants d’etan d’alta puresa, proveïdors, fàbrica
Un parell de
ETAN C2H6Potser també t'agrada
Enviar la consulta












