Gas hexafluorur de sofre
Escenaris d'aplicacions de semiconductors: coincideixen amb precisió les exigències dels processos de fabricació avançats
Gravat de plasma
L’hexafluorur de sofre de 5n grau s’utilitza com a agent de gravat eficient per gravar els patrons de circuit a nivell de micro en hòsties de silici, evitant rugositat de la paret lateral o curtcircuits de dispositiu causats per impureses .
Neteja d’equips i formació de pel·lícules
La seva estabilitat química pot eliminar els residus de la cavitat dels equips de deposició i, alhora
Característiques de seguretat i protecció del medi ambient
Les característiques intrínsecament segures de no ser inflamables i no corrosius redueixen els riscos d’emmagatzematge i d’ús en plantes de fabricació d’hòsties i compleixen els estàndards de les sales netes de semiconductors .
La manipulació adequada del gas hexafluorur de sofre requereix un coneixement i un equipament especialitzats a causa de la seva combinació única de propietats . mentre que SF6 és no tòxic, el gas és cinc vegades més dens que l’aire i pot causar l’asfíxia en espais confinats . Els usuaris industrials treballen normalment amb hexafluorur de sulfur 99.}}}}}}}}}}}}}}} {5} qualificacions, cadascuna que requereix consideracions de manipulació lleugerament diferents.
L’emmagatzematge i la transferència d’hexafluorur de sofre d’alta puresa 99 . 999% exigeix una cura especial per prevenir la contaminació {{2 Això podria generar subproductes perillosos.
Els procediments de resposta d’emergència per a hexafluorur de sofre CAS 2551-62-4 Els llançaments posen l’èmfasi en la ventilació i el control atmosfèric en lloc dels mètodes tradicionals de contenció química . Els sistemes de manipulació moderns SF6 incorporen sensors de gas en temps real que desencadenen alarmes a concentracions com a 100 ppm, molt per sota dels nivells perillosos, però a nivell perill
Etiquetes populars: Gas de hexafluorur de sofre, Fabricants de gas, proveïdors, fàbrica, fàbrica, fàbrica, fàbrica, fàbrica, fàbrica, fàbrica, fàbrica
Un parell de
Hexafluorur de sofre CAS 2551-62-4Següent
NoPotser també t'agrada
Enviar la consulta











